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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵10-3至10-8托或---机械泵<10-8托的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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对于高真空/真空系统,当系统内的压力低于10-6毫巴以后,安捷伦真空泵tv1001维修,系统内氢气占的比例越来越大,安捷伦真空泵配件厂家,而此时氢气的返流也越来越明显,因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大,分子泵对氢气的实际有效抽速就越大;反之,佛山安捷伦真空泵,则实际有效抽速已经所剩无几。
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分子泵出现工作压力起伏大的原因和处理方法
故障剖析:吸进管道漏汽;泵挤出机螺杆与泵套不一样心;阀门沒有校准好,或压力过大,使安全法时开落闭。
解决方法:检查管道并维修好;维修调节或拆换;再次校准阀门或减少压力。
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