番禺区INFICON检漏仪-潽拓光电

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电容-数字信号转换器原理图电路芯片利用ibm0.13umcmos技术制造，cmos电路板的尺寸为1950umx1850um，有效电路尺寸为263umx354um，采用2.5v电源供电，功率消耗约为0.69mw。在-20～225℃温度范围内，电路精度可达到2.4%，分辨率可达到1.44ff。

电容-数字信号转换器电路布局和芯片显微照片2.双侧电极微小电容测量敏感电容为双侧电极结构的inficon电容薄膜真空规管结构 ，敏感薄膜上的电极与上下硅基底上的电极构成了两个随真空度变化而变化的敏感电容。差动结构的敏感电容配合差动电路能准确感知薄膜的微小变化、减小寄生电容和耦合电容的影响、提高测量的共模抑制比，从而提高整个系统的分辨率，因此通常采用功耗低、易小型化集成的开关电容电路来构成差动测量电路。而随着inficon传感器的广泛应用，具有可调性、能满足不同设备需求的电路也比较受关注。

图5双侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图官设计了一种具有可调灵敏度的针对差动电容结构的inficon电容式传感器的信号测量电路。 电路包括传感器电容cx1、cx2，寄生电容cp，输入阻抗缓冲器r，前置可编程放大器，inficon检漏仪保养服务，一个单位增益的反相放大器，相敏解调器，可调方波时钟发生器，低通滤波器lpf，可编程输出放大器。可编程放大器提供了多个增益，inficon检漏仪维修服务，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。

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inficon电容塑料薄膜真空计，电路为闭环控制构造，番禺区inficon检漏仪，包含微电容测量电路和静电力控制电路，在其中静电力控制电路用于造成平衡---塑料薄膜的静电力，系统对的测量特性拥有---重要的危害，该方式在---真空计高度测量的并且还能扩宽其动态性测量范围。

inficon电容塑料薄膜真空计用以真空泵测量，规定在较宽的工作压力测量范围可以测出较小的工作压力变化量，与此同时必须达到深空探测、临近空间检测及其流体力学试验等运动中测量仪器设备微型化的规定，因此测量电路应当在达到测量规定的条件下尽量完成一体化、微型化、功能损耗低。

因而，inficon检漏仪技术升级，对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化，而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点，因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。

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