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广州潽拓光电——普发分子泵hipace 1500c 型号参数_pfeiffer 普发分子...
德国pfeiffer真空泵产品特点:
pfeiffer总公司位于德国asslar,作为真空技术的引*者,普发真空不断研发、生产性能、运行---的真空产品。120多年来,普发真空的产品不断建立真空技术发展的---。
pfeiffer产品包括:pfeiffer干泵、pfeiffer罗茨泵、pfeiffer质谱仪、pfeiffer真空泵,pfeiffer分子泵,pfeiffer分子真空泵,pfeiffer检漏仪、pfeiffer真空计、pfeiffer分子泵组、pfeiffer罗茨泵组、pfeiffer检漏系统、pfeiffer真空获得设备、pfeiffer真空计、pfeiffer分析仪器、pfeiffer真空系统等。
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boc stp-ixa3306cv涡轮分子泵维修,爱德华stp-ixa3306cv分子泵
boc stp-ixa3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内成熟的 stpixa3305 系列的新技术。
boc stp-ixa3306分子泵的高度等于 stp-xa2703/xa3203 的高度,也等于boc stp-ixa3305 系列不带其电源供给 (ips-1200)的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
boc stp-ixa3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
boc stp-ixa3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属铝、钨和电介质氧化物以及多晶硅等离子刻蚀氯化物、---物
电子回旋共振 (ecr) 刻蚀
薄膜沉积 cvd、pecvd、ecrcvd、mocvd
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